熒光光光纖測溫憑借本質安全、抗電磁干擾、高精度的核心優勢,能完美適配所有復雜測溫場景,尤其在強電磁、高溫、高真空等傳統測溫技術受限的環境中不可替代。
1. 半導體制造領域:適配嚴苛工藝環境
半導體制造對溫度控制精度要求極高,且存在強電磁干擾、高真空、腐蝕性氣體等極端條件,熒光光纖測溫是核心解決方案之一。
- 半導體靜電吸盤(ESC):ESC 需精準控制晶圓溫度以保證刻蝕 / 沉積均勻性。熒光光纖可直接嵌入吸盤內部,實時監測吸附面溫度,不受高頻射頻(RF)或等離子體干擾。
 - 半導體腔室和工藝控制:直接將光纖探頭部署在腔室內壁或靠近晶圓的位置,實時反饋工藝溫度,幫助調整射頻功率、氣體流量等參數,保障工藝穩定性。
 - 半導體后端工藝監控:在封裝環節(如焊接、點膠),可近距離監測芯片與基板的接觸溫度,避免高溫損壞芯片,同時不受焊接設備電磁干擾。
 
2. 工業設備領域:聚焦熱點安全監測
工業設備的熱點溫度是故障預警的核心指標,熒光光纖能在強電磁、高電壓環境下實現安全測溫。
- 微波加熱:微波環境會干擾傳統電子測溫傳感器,熒光光纖無電磁感應,可插入加熱物料內部,精準獲取實時溫度,避免局部過熱或加熱不均。
 - 變壓器繞組熱點監控:直接將光纖繞組嵌入變壓器線圈,監測最易發熱的 “熱點” 溫度。光纖絕緣性強,不會引發短路,且不受變壓器強電磁場影響,提前預警絕緣老化風險。
 
3. 醫療健康領域:兼顧精準與患者安全
醫療場景對測溫的核心要求是安全無電擊風險和不干擾醫療設備,熒光光纖的絕緣特性和抗干擾能力在此發揮關鍵作用。
- 醫用射頻加熱和消融:射頻治療(如腫瘤消融)需精準控制病灶溫度(通常 42-60℃)。光纖探頭可貼近病灶,實時反饋溫度,避免燙傷正常組織,且不會被射頻信號干擾。
 - MRI 過程中的患者監護:MRI 設備存在超強磁場,金屬傳感器會引發安全風險并干擾成像。熒光光纖探頭由非金屬材料制成,可貼附患者體表或插入體內,實時監測體溫,不影響 MRI 成像和患者安全。
 
4. 科學研究領域:靈活適配多元場景
科學研究中的測溫場景多樣且需求特殊,熒光光纖的小型化、抗干擾、寬溫范圍使其成為理想工具。
- 可用于極端環境模擬實驗(如低溫等離子體、強磁場下的材料測試)。
 - 適配微小空間測溫(如微流控芯片、納米材料合成過程),探頭直徑小,不破壞實驗體系。
 

  
 